真空ハンドブック

著者

• 日本真空技術 ニホン シンクウ ギジュツ

書誌事項

真空ハンドブック

日本真空技術株式会社編

オーム社, 1992.11

タイトル読み

シンクウ ハンドブック

注記

文献: 各章末

内容説明・目次

目次

• 第１章　真空の基礎
• 第２章　真空用部品
• 第３章　真空用構成材料
• 第４章　熱
• 第５章　低温
• 第６章　プラズマ・イオンビーム
• 第７章　表面分析
• 第８章　薄膜・標面加工
• 第９章　化学・薬品・食品工業への真空の応用
• 第１０章　その他の資料

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN08379841
• ISBN:
  • 4274086372
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 16, 385p
• 大きさ: 27cm
• 分類:
  • NDC8 : 534.93
• 件名:
  • BSH : 真空技術
  • NDLSH : 真空