有機金属気相成長法によるワイドギャップ化合物半導体の原子層エピタキシーの研究
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有機金属気相成長法によるワイドギャップ化合物半導体の原子層エピタキシーの研究
尾鍋研太郎, 1992
- タイトル読み
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ユウキ キンゾク キソウ セイチョウホウ ニ ヨル ワイドギャップ カゴウブツ ハンドウタイ ノ ゲンシソウ エピタキシー ノ ケンキュウ
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注記
研究分担者: 伊藤良一, 白木靖寛,深津晋[等]
平成3年度科学研究費補助金(一般研究B)研究成果報告書(研究課題番号01460071)