in-situ光堆積法によるInPMIS電界効果トランジスタ用ゲート絶縁膜の研究
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in-situ光堆積法によるInPMIS電界効果トランジスタ用ゲート絶縁膜の研究
菅野卓雄, 1992
- タイトル読み
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in-situ ヒカリ タイセキホウ ニ ヨル InPMIS デンカイ コウカ トランジスタヨウ ゲート ゼツエンマク ノ ケンキュウ
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注記
平成3年度科学研究費補助金(一般研究B)研究成果報告書(研究課題番号01460135)