デバイスプロセス
著者
書誌事項
デバイスプロセス
（電子・情報工学講座, 12）
培風館, 1993.1
- タイトル別名
-
デバイス・プロセス
- タイトル読み
-
デバイス プロセス
大学図書館所蔵 全113件
この図書・雑誌をさがす
注記
付: 参考文献
内容説明・目次
内容説明
半導体集積回路技術の進展に伴い、大学においてもその基礎教育が重要となっている。本書は、半導体集積回路と光デバイスの製作プロセス技術を中心に、その基礎を分かりやすく解説した教科書である。
目次
- １ 主な半導体デハイスの製作プロセス
- ２ バルク結晶の成長
- ３ エピタキシャル成長技術
- ４ ウエハの加工と表面処理
- ５ 絶縁膜の形成
- ６ 不純物拡散とイオン注入
- ７ 微細パターンの形成
- ８ 電極と配線の形成および実装
- ９ クリーンルームと関連技術
- １０ 電子材料の種類と実用的に使用されるための条件
- １１ アモルファスシリコン・デバイスの製作プロセス
- １２ 材料・デバイスプロセスにおける評価
- １３ デバイスの微細化にともなう問題点と新技術
- １４ 量子効果デバイス作製のための新技術
「BOOKデータベース」 より