デバイスプロセス
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デバイスプロセス
（電子・情報工学講座, 12）
培風館, 1993.1
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デバイス・プロセス
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デバイス プロセス
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Description and Table of Contents
Description
半導体集積回路技術の進展に伴い、大学においてもその基礎教育が重要となっている。本書は、半導体集積回路と光デバイスの製作プロセス技術を中心に、その基礎を分かりやすく解説した教科書である。
Table of Contents
- １ 主な半導体デハイスの製作プロセス
- ２ バルク結晶の成長
- ３ エピタキシャル成長技術
- ４ ウエハの加工と表面処理
- ５ 絶縁膜の形成
- ６ 不純物拡散とイオン注入
- ７ 微細パターンの形成
- ８ 電極と配線の形成および実装
- ９ クリーンルームと関連技術
- １０ 電子材料の種類と実用的に使用されるための条件
- １１ アモルファスシリコン・デバイスの製作プロセス
- １２ 材料・デバイスプロセスにおける評価
- １３ デバイスの微細化にともなう問題点と新技術
- １４ 量子効果デバイス作製のための新技術
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