超精密三結晶トポグラフィック・カメラの開発研究

書誌事項

超精密三結晶トポグラフィック・カメラの開発研究

研究代表者石川哲也

石川哲也, 1992

タイトル読み

チョウセイミツ サンケッショウ トポグラフィック・カメラ ノ カイハツ ケンキュウ

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注記

研究分担者: 平野馨一

平成3年度科学研究費補助金(試験研究2)研究成果報告書(研究課題番号02558012)

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BN08557713
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpneng
  • 出版地
    [東京]
  • ページ数/冊数
    1冊
  • 大きさ
    26cm
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