超微細加工の基礎 : 半導体製造技術
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超微細加工の基礎 : 半導体製造技術
日刊工業新聞社, 1993.3
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チョウビサイ カコウ ノ キソ : ハンドウタイ セイゾウ ギジュツ
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参考文献: 各章末
Description and Table of Contents
Table of Contents
- 序章 超微細加工
- 第1章 単結晶引上
- 第2章 熱酸化
- 第3章 リソグラフィー
- 第4章 エッチング
- 第5章 ドーピング—熱拡散とイオン注入
- 第6章 薄膜の基本的性質と薄膜作成法の概要
- 第7章 気層成長法・CVD・エピタクシー
- 第8章 蒸着とイオンプレーティング
- 第9章 スパッタ
- 第10章 平坦化技術
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