ここまできた半導体清浄化技術 : スーパークリーンテクノロジー実現
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ここまできた半導体清浄化技術 : スーパークリーンテクノロジー実現
(K books, 92)
工業調査会, 1992.1
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ココマデ キタ ハンドウタイ セイジョウカ ギジュツ : スーパー クリーン テクノロジー ジツゲン
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ここまできた半導体清浄化技術 : スーパークリーンテクノロジー実現 / 岩松誠一著
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ここまできた半導体清浄化技術 : スーパークリーンテクノロジー実現 / 岩松誠一著
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Description and Table of Contents
Description
本書は長年半導体デバイスの表面現象に取り組んできた著者が、そのノウハウを明らかにするとともに、豊富な事例を盛り込みながら解説したもの。半導体デバイス・プロセスにこれから携わろうとしている方々に必須の書。
Table of Contents
- 第1章 半導体清浄化技術とは
- 第2章 半導体清浄化技術要論
- 第3章 パーティクル制御
- 第4章 ドライ洗浄
- 第5章 半導体清浄化技術の今後の動き
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