半導体デバイス工程評価技術 : ライフタイム、DLTS評価を中心として

著者

• 宇佐美, 晶 ウサミ, アキラ
• 徳田, 豊 トクダ, ユタカ

書誌事項

半導体デバイス工程評価技術 : ライフタイム、DLTS評価を中心として

宇佐美晶,徳田豊〔著〕

リアライズ社, 1990.9

タイトル読み

ハンドウタイ デバイス コウテイ ヒョウカ ギジュツ : ライフ タイム DLTS ヒョウカ オ チュウシン トシテ

注記

各章末:参考文献

• NII書誌ID(NCID): BN08950144
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 628p
• 大きさ: 27cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.8
  • NDLC : ND371
• 件名:
  • NDLSH : 半導体