デスク・トップ型超高速スパッタ装置の試作と金属 : 半導体相転移の研究

著者

• 水谷, 宇一郎 ミズタニ, ウイチロウ

書誌事項

デスク・トップ型超高速スパッタ装置の試作と金属 : 半導体相転移の研究

研究代表者水谷宇一郎

[出版者不明], 1993.3

タイトル別名

平成4年度科学研究費補助金(試験研究(B)(1))研究成果報告書

タイトル読み

デスクトップガタ チョウコウソク スパッタ ソウチ ノ シサク ト キンゾク : ハンドウタイ ソウテンイ ノ ケンキュウ

注記

研究課題番号:03555140

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN09397022
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [出版地不明]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm