デスク・トップ型超高速スパッタ装置の試作と金属 : 半導体相転移の研究

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デスク・トップ型超高速スパッタ装置の試作と金属 : 半導体相転移の研究

研究代表者水谷宇一郎

[出版者不明], 1993.3

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平成4年度科学研究費補助金(試験研究(B)(1))研究成果報告書

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デスクトップガタ チョウコウソク スパッタ ソウチ ノ シサク ト キンゾク : ハンドウタイ ソウテンイ ノ ケンキュウ

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研究課題番号:03555140

Details

  • NCID
    BN09397022
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [出版地不明]
  • Pages/Volumes
    1冊
  • Size
    30cm
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