低周波重畳による高周波誘導熱プラズマの高温反応場の広域化に関する研究

書誌事項

低周波重畳による高周波誘導熱プラズマの高温反応場の広域化に関する研究

研究代表者 作田忠裕

(科学研究費補助金(一般研究C)研究成果報告書, 平成4年度)

[作田忠裕], 1993

タイトル読み

テイシュウハ チョウジョウ ニ ヨル コウシュウハ ユウドウネツ プラズマ ノ コウオン ハンノウ バ ノ コウイキカ ニ カンスル ケンキュウ

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注記

課題番号:03650226

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BN09446525
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpneng
  • 出版地
    [金沢]
  • ページ数/冊数
    1冊
  • 大きさ
    30cm
  • 親書誌ID
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