化学気相成長法による薄膜製造の高効率化

著者

• 滝本, 昭 タキモト, アキラ

書誌事項

化学気相成長法による薄膜製造の高効率化

研究代表者 滝本昭

（科学研究費補助金(一般研究C)研究成果報告書, 平成4年度）

[滝本昭], 1993

タイトル読み

カガク キソウ セイチョウホウ ニ ヨル ハクマク セイゾウ ノ コウコウリツカ

注記

課題番号:03650177

• NII書誌ID(NCID): BN09446693
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [金沢]
• ページ数/冊数: 37枚
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BN03663735