参照面のうねりの影響を受けない大型光学部品の光干渉式高精度うねり形状測定法

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参照面のうねりの影響を受けない大型光学部品の光干渉式高精度うねり形状測定法

研究代表者 安達正明

（科学研究費補助金(一般研究C)研究成果報告書, 平成4年度）

[安達正明], 1993.3

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サンショウメン ノ ウネリ ノ エイキョウ ヲ ウケナイ オオガタ コウガク ブヒン ノ ヒカリ カンショウ シキ コウセイド ウネリ ケイジョウ ソクテイホウ

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課題番号:02650028

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Details

  • NCID
    BN0945645X
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [金沢]
  • Pages/Volumes
    37枚
  • Size
    29cm
  • Parent Bibliography ID
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