参照面のうねりの影響を受けない大型光学部品の光干渉式高精度うねり形状測定法
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参照面のうねりの影響を受けない大型光学部品の光干渉式高精度うねり形状測定法
(科学研究費補助金(一般研究C)研究成果報告書, 平成4年度)
[安達正明], 1993.3
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サンショウメン ノ ウネリ ノ エイキョウ ヲ ウケナイ オオガタ コウガク ブヒン ノ ヒカリ カンショウ シキ コウセイド ウネリ ケイジョウ ソクテイホウ
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課題番号:02650028