シリコン産業と技術マップ
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書誌事項
シリコン産業と技術マップ
(C&C文庫, 46)
日本電気文化センター, 1993.7
- タイトル読み
-
シリコン サンギョウ ト ギジュツ マップ
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内容説明・目次
内容説明
金属シリコンの製造、ウエハ加工など川上のシリコン技術について、その全体像を歴史的、かつ具体的なデータで考察し、著者独自の見解をまじえながらわかりやすく解説。
目次
- 1 シリコン産業とその技術マップ
- 2 シリコン技術の展望
- 3 高純度シリコン産業
- 4 ウエハ製造技術
- 5 エピタキシャル技術をめぐって
- 半導体の基礎用語
「BOOKデータベース」 より