シリコン産業と技術マップ
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シリコン産業と技術マップ
（C&C文庫, 46）
日本電気文化センター, 1993.7
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シリコン サンギョウ ト ギジュツ マップ
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Description and Table of Contents
Description
金属シリコンの製造、ウエハ加工など川上のシリコン技術について、その全体像を歴史的、かつ具体的なデータで考察し、著者独自の見解をまじえながらわかりやすく解説。
Table of Contents
- １ シリコン産業とその技術マップ
- ２ シリコン技術の展望
- ３ 高純度シリコン産業
- ４ ウエハ製造技術
- ５ エピタキシャル技術をめぐって
- 半導体の基礎用語
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