ULSIプロセス材料実務便覧

Author(s)

• 津屋, 英樹 ツヤ, ヒデキ

Bibliographic Information

ULSIプロセス材料実務便覧

津屋英樹監修

サイエンスフォーラム, 1992.1

Title Transcription

ULSI プロセス ザイリョウ ジツム ベンラン

Note

執筆:津屋英樹ほか

各章末:文献

Details

• NCID: BN09666102
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: 477p
• Size: 31cm
• Classification:
  • NDC8 : 549.7
  • NDLC : ND386
• Subject Headings:
  • NDLSH : 集積回路