超精密平面と面粗さ

Author(s)

• 次世代の超精密加工技術編集委員会 ジセダイ ノ チョウセイミツ カコウ ギジュツ ヘンシュウ イインカイ

Bibliographic Information

超精密平面と面粗さ

次世代の超精密加工技術編集委員会編集

（次世代の超精密加工技術 / 次世代の超精密加工技術編集委員会編集, 上巻）

産業技術サービスセンター, 1993.10

Title Transcription

チョウセイミツ ヘイメン ト メンアラサ

Note

企画:日本工業技術振興協会

編集委員会:小林昭ほか

執筆者:小林昭ほか

各章末:参考文献

Details

• NCID: BN0975749X
• ISBN:
  • 4915957225
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: 397p
• Size: 27cm
• Classification:
  • NDC8 : 532
• Parent Bibliography ID:
  • BN09757999