超精密平面と面粗さ

著者

• 次世代の超精密加工技術編集委員会 ジセダイ ノ チョウセイミツ カコウ ギジュツ ヘンシュウ イインカイ

書誌事項

超精密平面と面粗さ

次世代の超精密加工技術編集委員会編集

（次世代の超精密加工技術 / 次世代の超精密加工技術編集委員会編集, 上巻）

産業技術サービスセンター, 1993.10

タイトル読み

チョウセイミツ ヘイメン ト メンアラサ

注記

企画:日本工業技術振興協会

編集委員会:小林昭ほか

執筆者:小林昭ほか

各章末:参考文献

• NII書誌ID(NCID): BN0975749X
• ISBN:
  • 4915957225
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 397p
• 大きさ: 27cm
• 分類:
  • NDC8 : 532
• 親書誌ID:
  • BN09757999