マイクロエレクトロニクスにおける超微細接合 : 微細接合実現のための支配的要因、メカニズムと高信頼化を模索する

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マイクロエレクトロニクスにおける超微細接合 : 微細接合実現のための支配的要因、メカニズムと高信頼化を模索する

[溶接学会], [1993]

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マイクロ エレクトロニクス ニオケル チョウビサイ セツゴウ : ビサイ セツゴウ ジツゲン ノタメノ シハイテキ ヨウイン、メカニズム ト コウシンライカ オ モサク スル

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Note

"Interface and innovative integration シンポジウム"

主催:溶接学会, 開催日:平成5年10月14日(木)-15日(金), 場所:化学会館

付:参考文献

Details

  • NCID
    BN09950401
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [東京]
  • Pages/Volumes
    187p
  • Size
    30cm
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