新クリーンルームの運転・管理・清浄化ハンドブック

著者

• 早川, 一也 ハヤカワ, イチヤ
• 浅田, 敏勝 アサダ, トシカツ

書誌事項

新クリーンルームの運転・管理・清浄化ハンドブック

早川一也, 浅田敏勝監修

NTS, 1993.10

タイトル別名

クリーンルームの運転・管理・清浄化ハンドブック : 新

タイトル読み

シン クリーン ルーム ノ ウンテン カンリ セイジョウカ ハンドブック

注記

執筆者: 早川一也ほか

各章末: 参考・引用文献

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN10024780
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 676p
• 大きさ: 27cm
• 分類:
  • NDC8 : 528.2