やさしいULSI技術 : Gビットメモリへの挑戦
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やさしいULSI技術 : Gビットメモリへの挑戦
（K books, 100）
工業調査会, 1993.11
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ヤサシイ ULSI ギジュツ : Gビット メモリ エノ チョウセン
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参考文献: 各章末
内容説明・目次
内容説明
ＵＬＳＩの開発は４年間にわたるわが国の「超ＬＳＩプロジェクト」に端を発している。本書はこのプロジェクトに参加した著者が、その後さらに進展してきたデバイス・プロセス・評価技術、今後の展望などを解説したものである。
目次
- 第１章 超ＬＳＩの歴史
- 第２章 デバイス技術
- 第３章 微細加工技術
- 第４章 プロセス技術
- 第５章 試験・評価技術
- 第６章 今後の動向
「BOOKデータベース」 より
