やさしいULSI技術 : Gビットメモリへの挑戦

著者

• 岩松, 誠一 イワマツ, セイイチ

書誌事項

やさしいULSI技術 : Gビットメモリへの挑戦

岩松誠一著

（K books, 100）

工業調査会, 1993.11

タイトル読み

ヤサシイ ULSI ギジュツ : Gビット メモリ エノ チョウセン

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• やさしいULSI技術 : Gビットメモリへの挑戦

  1993

  NDLデジタルコレクション

  限定公開

注記

参考文献: 各章末

内容説明・目次

内容説明

ＵＬＳＩの開発は４年間にわたるわが国の「超ＬＳＩプロジェクト」に端を発している。本書はこのプロジェクトに参加した著者が、その後さらに進展してきたデバイス・プロセス・評価技術、今後の展望などを解説したものである。

目次

• 第１章　超ＬＳＩの歴史
• 第２章　デバイス技術
• 第３章　微細加工技術
• 第４章　プロセス技術
• 第５章　試験・評価技術
• 第６章　今後の動向

「BOOKデータベース」 より

• NII書誌ID(NCID): BN10185983
• ISBN:
  • 4769311168
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 203p
• 大きさ: 19cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.7
  • NDC7 : 549.8
• 件名:
  • BSH : 集積回路
• 親書誌ID:
  • BN00077281