半導体計測評価事典

著者

• 高柳, 邦夫 タカヤナギ, クニオ
• 田島, 道夫 タジマ, ミチオ
• 松井, 純爾 マツイ, ジュンジ

書誌事項

半導体計測評価事典

高柳邦夫, 田島道夫, 松井純爾監修

サイエンスフォーラム, 1994.2

タイトル読み

ハンドウタイ ケイソク ヒョウカ ジテン

注記

章末: 文献

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN10325608
• ISBN:
  • 4916164083
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 704p
• 大きさ: 27cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.8
• 件名:
  • NDLSH : 半導体
  • NDLSH : 工業計測