膜回路形成技術
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膜回路形成技術
（エレクトロニクス実装技術基礎講座 / ハイブリッドマイクロエレクトロニクス協会編, 第3巻）
工業調査会, 1994.2
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マクカイロ ケイセイ ギジュツ
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参考文献: 各章末
内容説明・目次
内容説明
本書ではエレクトロニクスにおける膜回路形成技術の重要性とその形成技術の種類、パターニング方法、膜特性評価技術について詳細に解説した。特にセラミック、ガスラ基板やプリント配線板へ薄膜や厚膜の膜材料技術、成膜技術、回路形成技術、膜評価技術を中心とした膜形成技術および機能形成技術について基礎的な事項を中心に述べ一部代表的な応用例を紹介している。
目次
- 第１章 エレクトロニクスにおける膜回線形成技術の役割
- 第２章 薄膜・厚膜材料の種類と基本特性
- 第３章 薄膜形成方法の種類と装置
- 第４章 パターニング技術
- 第５章 膜特性評価技術
「BOOKデータベース」 より
