低温プラズマ材料化学

著者

• 長田, 義仁 オサダ, ヨシヒト

書誌事項

低温プラズマ材料化学

長田義仁編著

産業図書, 1994.3

タイトル読み

テイオン プラズマ ザイリョウ カガク

注記

参考文献: 章末

内容説明・目次

目次

• 第１章　低温プラズマによる物質創製の意義
• 第２章　プラズマの化学
• 第３章　プラズマＣＶＤ
• 第４章　イオンプレーティング
• 第５章　スパッタリング
• 第６章　プラズマ重合
• 第７章　プラズマ表面処理
• 第８章　プラズマエッチング

「BOOKデータベース」 より

• NII書誌ID(NCID): BN10492144
• ISBN:
  • 4782820534
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: ix, 296p
• 大きさ: 22cm
• 分類:
  • NDC8 : 501.4
  • NDLC : M213
• 件名:
  • BSH : 工業材料
  • BSH : プラズマ
  • NDLSH : 工業材料
  • NDLSH : プラズマ