低温プラズマ材料化学

Author(s)

• 長田, 義仁 オサダ, ヨシヒト

Bibliographic Information

低温プラズマ材料化学

長田義仁編著

産業図書, 1994.3

Title Transcription

テイオン プラズマ ザイリョウ カガク

Note

参考文献: 章末

Description and Table of Contents

Table of Contents

• 第１章　低温プラズマによる物質創製の意義
• 第２章　プラズマの化学
• 第３章　プラズマＣＶＤ
• 第４章　イオンプレーティング
• 第５章　スパッタリング
• 第６章　プラズマ重合
• 第７章　プラズマ表面処理
• 第８章　プラズマエッチング

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Details

• NCID: BN10492144
• ISBN:
  • 4782820534
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: ix, 296p
• Size: 22cm
• Classification:
  • NDC8 : 501.4
  • NDLC : M213
• Subject Headings:
  • BSH : 工業材料
  • BSH : プラズマ
  • NDLSH : 工業材料
  • NDLSH : プラズマ