薄膜の力学的特性評価技術 : トライボロジー・内部応力・密着性

著者

• 金原, 粲 キンバラ, アキラ

書誌事項

薄膜の力学的特性評価技術 : トライボロジー・内部応力・密着性

金原粲 [ほか] 編

リアライズ社, 1992.3

タイトル読み

ハクマク ノ リキガクテキ トクセイ ヒョウカ ギジュツ : トライボロジー ナイブ オウリョク ミッチャクセイ

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• 薄膜の力学的特性評価技術 : トライボロジー・内部応力・密着性

  1992

  NDLデジタルコレクション

  限定公開

注記

各節末: 文献

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN10535145
• ISBN:
  • 4947655526
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 610p, 図版2p
• 大きさ: 27cm
• 分類:
  • NDC8 : 549
  • NDLC : ND371
• 件名:
  • NDLSH : 薄膜