シリコン熱酸化膜とその界面 : 基礎物性から超LSIへの応用まで

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シリコン熱酸化膜とその界面 : 基礎物性から超LSIへの応用まで

谷口研二 [編]

リアライズ社, 1991.7

Title Transcription

シリコン ネツ サンカ マク ト ソノ カイメン : キソ ブッセイ カラ チョウ LSI エノ オウヨウ マデ

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各章末: 参考文献

Details
  • NCID
    BN1064502X
  • ISBN
    • 4947655445
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    東京
  • Pages/Volumes
    422p
  • Size
    27cm
  • Classification
  • Subject Headings
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