シリコン熱酸化膜とその界面 : 基礎物性から超LSIへの応用まで

著者

• 谷口, 研二 タニグチ, ケンジ

書誌事項

シリコン熱酸化膜とその界面 : 基礎物性から超LSIへの応用まで

谷口研二 [編]

リアライズ社, 1991.7

タイトル読み

シリコン ネツ サンカ マク ト ソノ カイメン : キソ ブッセイ カラ チョウ LSI エノ オウヨウ マデ

注記

各章末: 参考文献

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN1064502X
• ISBN:
  • 4947655445
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 422p
• 大きさ: 27cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.8
  • NDLC : ND371
• 件名:
  • NDLSH : シリコン(半導体)