真空技術実務読本
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Bibliographic Information
真空技術実務読本
オーム社, 1994.5
新版
- Other Title
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真空技術実務読本
- Title Transcription
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シンクウ ギジュツ ジツム トクホン
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Note
文献: p192-194
Description and Table of Contents
Description
真空技術の基礎から応用までポイントをわかりやすく解説。新版化にあたって、コンピュータ利用の成果や宇宙利用などの真空技術の新たな分野を付加し、さらに今後のSI単位の本格的導入に対応できる内容としました。
Table of Contents
- 第1章 基礎の考え方
- 第2章 真空ポンプの原理と実際
- 第3章 装置の排気
- 第4章 真空用の部品と材料
- 第5章 真空装置のもれともれ探し
- 第6章 真空計の原理と取扱い方
- 第7章 真空下の圧力測定法
- 第8章 残留ガスの分析
- 第9章 超高真空の技術
- 第10章 真空用語と換算表
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