イオン応用機器概論

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イオン応用機器概論

岩木正哉監修 ; 磯部昭二 [ほか] 著

開発社, 1994.3

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イオン オウヨウ キキ ガイロン

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付: 文献

Description and Table of Contents

Table of Contents

  • イオン技術応用分野とイオン機器の需要動向
  • 半導体イオン注入
  • 金属改質イオン注入
  • 薄膜生成イオン応用
  • 微細加工
  • 企業及び研究機関

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Details

  • NCID
    BN10849187
  • ISBN
    • 4759100865
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    東京
  • Pages/Volumes
    iii, 135p
  • Size
    22cm
  • Classification
  • Subject Headings
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