イオン応用機器概論

著者

• 磯部, 昭二 イソベ, ショウジ
• 岩木, 正哉 イワキ, マサヤ

書誌事項

イオン応用機器概論

岩木正哉監修 ; 磯部昭二 [ほか] 著

開発社, 1994.3

タイトル読み

イオン オウヨウ キキ ガイロン

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• イオン応用機器概論

  1994

  NDLデジタルコレクション

  限定公開

注記

付: 文献

内容説明・目次

目次

• イオン技術応用分野とイオン機器の需要動向
• 半導体イオン注入
• 金属改質イオン注入
• 薄膜生成イオン応用
• 微細加工
• 企業及び研究機関

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN10849187
• ISBN:
  • 4759100865
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: iii, 135p
• 大きさ: 22cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.1
• 件名:
  • BSH : イオンビーム