炭化ケイ素における積層欠陥の生成・消滅過程とその制御
著者
書誌事項
炭化ケイ素における積層欠陥の生成・消滅過程とその制御
[出版者不明], 1994.3
- タイトル別名
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平成5年度科学研究費補助金(一般研究(C))研究成果報告書
- タイトル読み
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タンカ ケイソ ニ オケル セキソウ ケッカン ノ セイセイ ショウメツ カテイ ト ソノ セイギョ
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注記
研究課題番号:04650692