超LSI技術

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超LSI技術

（半導体研究 / 半導体研究振興会編, 40）

工業調査会, 1994.8

• 18 デバイスとプロセス その8

タイトル読み

チョウ LSI ギジュツ

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• 半導体研究 (40巻)

  1994

  NDLデジタルコレクション

  限定公開

内容説明・目次

目次

• １　サブ０．１μｍＭＯＳＦＥＴの特性と電気伝導機構
• ２　０．１ミクロンＣＭＯＳ技術
• ３　０．１μｍＭＯＳＦＥＴにおける短チャネル効果とその制御
• ４　ＮＡＮＤ型メモリ
• ５　薄膜ＳＯＩ　ＭＯＳＦＥＴ技術
• ６　ウェハ張り合わせＳＯＩ技術
• ７　ゲート酸化膜の構造と長期信頼性
• ８　界面制御による多層配線の信頼性
• ９　金属‐Ｓｉ界面の結晶学的・電子的構造とコンタクト抵抗

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN11163159
• ISBN:
  • 476931129X
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: ix, 384p
• 大きさ: 27cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.8
• 件名:
  • BSH : 半導体
• 親書誌ID:
  • BN00178314