超LSI技術

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超LSI技術

（半導体研究 / 半導体研究振興会編, 40）

工業調査会, 1994.8

• 18 デバイスとプロセス その8

Title Transcription

チョウ LSI ギジュツ

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• 半導体研究 (40巻)

  1994

  NDL Digital Collections

  Limited

Description and Table of Contents

Table of Contents

• １　サブ０．１μｍＭＯＳＦＥＴの特性と電気伝導機構
• ２　０．１ミクロンＣＭＯＳ技術
• ３　０．１μｍＭＯＳＦＥＴにおける短チャネル効果とその制御
• ４　ＮＡＮＤ型メモリ
• ５　薄膜ＳＯＩ　ＭＯＳＦＥＴ技術
• ６　ウェハ張り合わせＳＯＩ技術
• ７　ゲート酸化膜の構造と長期信頼性
• ８　界面制御による多層配線の信頼性
• ９　金属‐Ｓｉ界面の結晶学的・電子的構造とコンタクト抵抗

by "BOOK database"

• NCID: BN11163159
• ISBN:
  • 476931129X
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: ix, 384p
• Size: 27cm
• Classification:
  • NDC8 : 549.8
• Subject Headings:
  • BSH : 半導体
• Parent Bibliography ID:
  • BN00178314