ULSI製造コンタミネーションコントロール技術

著者

• サイエンスフォーラム サイエンス フォーラム

書誌事項

ULSI製造コンタミネーションコントロール技術

サイエンスフォーラム, 1992.3

タイトル読み

ユーエルエスアイ セイゾウ コンタミネーション コントロール ギジュツ

注記

監修: 奥村勝弥ほか

文献: 各章末

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN11295025
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 396p
• 大きさ: 31cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.7
  • NDLC : ND386
• 件名:
  • NDLSH : 集積回路