半導体製造用特殊材料の生体影響

著者

• 桜井, 治彦 サクライ, ハルヒコ

書誌事項

半導体製造用特殊材料の生体影響

櫻井治彦編著

SEMIジャパン, 1994.4

タイトル読み

ハンドウタイ セイゾウヨウ トクシュ ザイリョウ ノ セイタイ エイキョウ

注記

各章末:参考文献あり

巻頭:英文の執筆者リストあり

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN11363238
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 114p
• 大きさ: 26cm