曲面加工における超精密加工技術の展開と応用 ; 高精度微細形状における超精密加工技術の展開と応用
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曲面加工における超精密加工技術の展開と応用 ; 高精度微細形状における超精密加工技術の展開と応用
（次世代の超精密加工技術 / 次世代の超精密加工技術編集委員会編集, 下巻）
産業技術サービスセンター, 1994.9
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キョクメン カコウ ニ オケル チョウセイミツ カコウ ギジュツ ノ テンカイ ト オウヨウ ; コウセイド ビサイ ケイジョウ ニ オケル チョウセイミツ カコウ ギジュツ ノ テンカイ ト オウヨウ
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Note
第1部: 曲面加工における超精密加工技術の展開と応用, 第2部: 高精度微細形状における超精密加工技術の展開と応用
企画: 日本工業技術振興協会
編集委員: 小林昭ほか
執筆者: 青木貞雄ほか
講演・ディスカッション出席者: 今中治ほか
各章末: 参考文献