PVD・CVD皮膜の基礎と応用

著者

• 表面技術協会 ヒョウメン ギジュツ キョウカイ

書誌事項

PVD・CVD皮膜の基礎と応用

表面技術協会編

槙書店, 1994.9

タイトル読み

PVD ・ CVD ヒマク ノ キソ ト オウヨウ

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• PVD・CVD皮膜の基礎と応用

  1994

  NDLデジタルコレクション

  限定公開

内容説明・目次

内容説明

本書は、主として一般の機械部品に対するＰＶＤ・ＣＶＤ皮膜の応用を採り上げ、実施例を編を分けて詳細に記述し、さらに基礎編を設け原理原則を明らかにし、技術の理解とその発展に役立つように配慮しました。

目次

• 第１編　ＰＶＤおよびＣＶＤの概要（ＰＶＤおよびＣＶＤの基礎的事項；プラズマ技術の基礎と薄膜形成；ドライプロセスによる薄膜の結晶配向性、モルフォロジと諸特性　ほか）
• 第２編　ＰＶＤ皮膜の種々の応用例（工具・金型への応用例；機能部品への応用例；装飾用部品への応用例　ほか）
• 第３編　ＣＶＤ皮膜の種々の応用例（工具および金型への応用例；機能部品への応用例；耐食性・耐熱機能皮膜としての応用例　ほか）

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN11418759
• ISBN:
  • 4837506275
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: vii, 406p
• 大きさ: 22cm
• 分類:
  • NDC8 : 501.4
• 件名:
  • BSH : 薄膜