結晶格子を基準に用いた二次元測長装置の開発
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結晶格子を基準に用いた二次元測長装置の開発
樋口俊郎, 1994
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ケッショウ コウシ オ キジュン ニ モチイタ ニジゲン ソクチョウ ソウチ ノ カイハツ
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Note
平成5年度科学研究費助成金試験研究(B)研究成果報告書
研究課題番号: 03555083
研究分担者: 川勝英樹, 沢辺雅二
Contents of Works
- Design of a positioning table using crystalline lattice and surface topography as a reference index / Hideki Kawakatsu and Toshiro Higuchi
- A dual-tunneling-unit STM : application as a nm oder measuring machine and a positioning table / Hideki Kawakatsu and Toshiro Higuchi
- A dual-tunneling-unit scanning tunneling microscope / Hideki Kawakatsu and Toshiro Higuchi
- Crystalline lattice for metrological applications and positioning control by a dual tunneling-unit scanning tunneling microscope / Hideki Kawakatsu[ほか]
- 結晶格子を用いた測長と位置決め / 川勝英樹
- 結晶格子を基準とした測長 : 10ナノメーターオーダでの比較測長の精度の測定 / 川勝英樹[ほか] / ケッショウ コウシ オ キジュン ト シタ ソクチョウ : 10 ナノメータオーダ デノ ヒカク ソクチョウ ノ セイド ノ ソクテイ
- Comparison measurement in the hundred nanometer range with a crystalline lattice using a dual tunneling-unit scanning tunneling microscope / Hideki Kawakatsu[ほか]