ULSIリソグラフィ技術の革新

著者

• 滝川, 忠宏 タキガワ, タダヒロ

書誌事項

ULSIリソグラフィ技術の革新

滝川忠宏編集委員[ほか]

サイエンスフォーラム, 1994.11

タイトル読み

ULSI リソグラフィ ギジュツ ノ カクシン

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN11634630
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 458p
• 大きさ: 31cm