半導体製造の技術開発

著者

• 坂野, 進 サカノ, ススム

書誌事項

半導体製造の技術開発

坂野進[ほか]編集

（品質工学応用講座）

日本規格協会, 1994.10

タイトル読み

ハンドウタイ セイゾウ ノ ギジュツ カイハツ

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• 半導体製造の技術開発

  1994

  NDLデジタルコレクション

  限定公開

内容説明・目次

目次

• 半導体の技術開発
• 半導体産業への品質工学の導入
• 半導体の関連技術と品質工学
• プロセスデバイス・シミュレーションによるＭＯＳトランジスタの安定性設計
• 安定なＭＯＳトランジスタの設計
• ＩＣ微細加工へのパラメータ設計の適用
• レジストパターニング性能の向上
• レジスト塗布工程における塗布条件の最適化〔ほか〕

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN11659879
• ISBN:
  • 4542511103
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 366p
• 大きさ: 21cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.8
• 件名:
  • BSH : 半導体
  • BSH : 品質管理
• 親書誌ID:
  • BN08506326