半導体製造装置用語辞典

著者

• 日本半導体製造装置協会 ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ

書誌事項

半導体製造装置用語辞典

日本半導体製造装置協会編

日刊工業新聞社, 1994.11

第3版

タイトル別名

Terminological dictionary of semiconductor equipment

タイトル読み

ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ヨウゴ ジテン

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• 半導体製造装置用語辞典

  1994

  NDLデジタルコレクション

  限定公開

内容説明・目次

内容説明

半導体デバイス製造に関する用語辞典。７つの工程順に分け、その中をさらに分類順に構成する。各項目内は用語・読み方・意味・英訳を表形式で掲載する。巻末の資料編には、引用文献一覧表、半導体製造装置構成表などの図解、国際単位系計量単位がある。日本語索引・英語索引を付す。１９８７年初版刊行のものの第３版にあたる。

目次

• 第１章　半導体製造フローチャートと装置用語の構成
• 第２章　設計工程用語
• 第３章　マスク製作工程用語
• 第４章　ウェーハ製造工程用語
• 第５章　ウェーハ処理工程用語
• 第６章　組立工程用語
• 第７章　検査工程用語
• 第８章　設備・環境工程用語

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN11770322
• ISBN:
  • 4526036137
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: xv, 486p
• 大きさ: 22cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.8
• 件名:
  • BSH : 半導体 -- 辞典
  • BSH : 半導体 -- 便覧
  • NDLSH : 半導体