ミクロの世界に適合する力伝達機構を集積化したマイクロアクチュエータ
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ミクロの世界に適合する力伝達機構を集積化したマイクロアクチュエータ
藤田博之, 1994
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ミクロ ノ セカイ ニ テキゴウ スル チカラ デンタツ キコウ オ シュウセキカ シタ マイクロアクチュエータ
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Institute of Industrial Science Library, the University of Tokyo図書
X-08.IIS:科研1993:14-2516711257375
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Note
平成5年度科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書
研究課題番号: 04452161
研究分担者: 生駒俊明
Contents of Works
- サブミクロンギャップを有する櫛形静電マイクロアクチュエータ / 古畑智武[ほか]
- Normal electrostatic force parallelogram actuator / Motoyoshi Ozaki[ほか]
- Effect of air damping and suspension compliance on electrostatic comb-drive actuators with sub-micron gaps / Toshiki Hirano[ほか]
- Electrostatic parallelogram actuators / N. Takeshima[ほか]