ミクロの世界に適合する力伝達機構を集積化したマイクロアクチュエータ
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ミクロの世界に適合する力伝達機構を集積化したマイクロアクチュエータ
藤田博之, 1994
- タイトル読み
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ミクロ ノ セカイ ニ テキゴウ スル チカラ デンタツ キコウ オ シュウセキカ シタ マイクロアクチュエータ
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注記
平成5年度科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書
研究課題番号: 04452161
研究分担者: 生駒俊明
収録内容
- サブミクロンギャップを有する櫛形静電マイクロアクチュエータ / 古畑智武[ほか]
- Normal electrostatic force parallelogram actuator / Motoyoshi Ozaki[ほか]
- Effect of air damping and suspension compliance on electrostatic comb-drive actuators with sub-micron gaps / Toshiki Hirano[ほか]
- Electrostatic parallelogram actuators / N. Takeshima[ほか]
