ホットスポット蒸着法による高強度金属薄膜ターゲットの開発
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ホットスポット蒸着法による高強度金属薄膜ターゲットの開発
菅井勲, 1994.3
- タイトル読み
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ホット スポット ジョウチャクホウ ニ ヨル コウキョウド キンゾク ハクマク ターゲット ノ カイハツ
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注記
平成4年度科学研究費補助金(一般研究C)研究成果報告書,課題番号:04804013
収録内容
- The influence of light gas and metallic elements admixture on the lifetime of carbon stripper foils
- Deveolpment of a highly reproducible mixed ion beam sputtering method for long-lived carbon stripper foils / H. Muto[ほか]
- Development of heavy ion beam sputtering method for long-lived carbon stripper foils
- Ion-sputtering atomic beam source for high-resolution laser spectroscopy of refractory elements / M. Wakasugi[ほか]
- Physical characteristics of carbon stripper foils prepared by a mixed ion beam sputtering method / H. Muto[ほか]