電子・イオンビーム工学

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電子・イオンビーム工学

高木俊宜執筆委員 ; 電気学会編集

（電気学会大学講座 / 電気学会編）

電気学会 , オーム社 (発売), 1995.3

Title Transcription

デンシ・イオン ビーム コウガク

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Available at  / 75 libraries

Note

参考文献: p315-316

Description and Table of Contents

Description

本書は、真空中での電子やイオン、すなわち、荷電粒子の挙動を理解し、新材料、高機能デバイス開発という観点も考慮にいれて記述したものである。

Table of Contents

  • 第１章　電子とイオン
  • 第２章　電子の発生とビーム形成
  • 第３章　イオンの発生と引き出し
  • 第４章　荷電粒子の運動とビーム輸送
  • 第５章　電子の密度変調と速度変調
  • 第６章　荷電粒子ビームと固体表面との相互作用
  • 第７章　荷電粒子ビーム応用装置

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Details

  • NCID
    BN12431366
  • ISBN
    • 4886862179
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    東京,東京
  • Pages/Volumes
    xii, 321p
  • Size
    22cm
  • Classification
  • Subject Headings
  • Parent Bibliography ID
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