多層体の接触論を利用した薄膜の機械的特性評価法に関する研究

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多層体の接触論を利用した薄膜の機械的特性評価法に関する研究

研究代表者 尾田十八

[尾田十八], 1995.3

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タソウタイ ノ セッショクロン オ リヨウ シタ ハクマク ノ キカイテキ トクセイ ヒョウカホウ ニ カンスル ケンキュウ

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平成6年度科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書

Details

  • NCID
    BN12545387
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [金沢]
  • Pages/Volumes
    105枚
  • Size
    30cm
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