電子ビーム描画法を用いたin-situシリコン選択エピタキシャルSOI構造の研究
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書誌事項
電子ビーム描画法を用いたin-situシリコン選択エピタキシャルSOI構造の研究
（科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書, 平成4年度）
石田誠, 1993.3
- タイトル別名
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平成4年度科学研究費補助金(一般研究B)研究成果報告書
- タイトル読み
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デンシ ビーム ビョウガホウ オ モチイタ in-situ シリコン センタク エピタキシャル SOI コウゾウ ノ ケンキュウ
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注記
研究課題番号: 03452155
