軟X線分光法の新しい応用による超微細コンタクト形成
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軟X線分光法の新しい応用による超微細コンタクト形成
岩見基弘, 1995.3
- タイトル別名
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平成6年度科学研究費補助金(試験研究(B))研究成果報告書(課題番号05555191)
- タイトル読み
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ナン Xセン ブンコウホウ ノ アタラシイ オウヨウ ニヨル チョウビサイ コンタクト ケイセイ
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注記
平成6年度科学研究費補助金(試験研究(B))研究成果報告書
課題番号: 05555191
研究分担者: 平井正明, 渡部宏邦