軟X線分光法の新しい応用による超微細コンタクト形成

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軟X線分光法の新しい応用による超微細コンタクト形成

研究代表者:岩見基弘

岩見基弘, 1995.3

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平成6年度科学研究費補助金(試験研究(B))研究成果報告書(課題番号05555191)

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ナン Xセン ブンコウホウ ノ アタラシイ オウヨウ ニヨル チョウビサイ コンタクト ケイセイ

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Note

平成6年度科学研究費補助金(試験研究(B))研究成果報告書

課題番号: 05555191

研究分担者: 平井正明, 渡部宏邦

Details

  • NCID
    BN13206558
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [岡山]
  • Pages/Volumes
    1冊
  • Size
    30cm
  • Classification
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